مع تطور عمليات تصنيع أشباه الموصلات، أصبحت بيئات التشغيل تتطلب جهدًا كبيرًا - فدرجات الحرارة المرتفعة، والبلازما العدوانية، والغازات الكيميائية المسببة للتآكل، ومتطلبات النقاء الصارمة، كلها عوامل تُشكل تحديات قاسية على مواد الختم. أطلقت شركة JST سلسلة Kalfluo® من حلول مانعة للتسرب من مادة الإيلاستومر المفلور (FFKM) ، مخصصة لتلبية معايير الأداء العالي والموثوقية العالية الفريدة للعلامات التجارية الدولية الرائدة.

لماذا يعد FFKM الخيار الذي لا مفر منه؟ ختم أشباه الموصلات ؟

يُمثل FFKM أعلى مستويات الأداء في مواد الإيلاستومر. يمنحه تركيبه الجزيئي المُفلور بالكامل خصائص لا مثيل لها:

• مقاومة كيميائية استثنائية: تتحمل جميع الوسائط الكيميائية تقريبًا، بما في ذلك الأحماض القوية، والقلويات، والمذيبات، والمواد القطبية المختلفة، وتعمل بشكل استثنائي في عمليات الحفر الرطب والتنظيف.
• مقاومة ممتازة لدرجات الحرارة العالية: تعمل سلسلة Kalfluo® بكفاءة عالية في درجات حرارة تتراوح بين -10 درجات مئوية و300 درجة مئوية. على سبيل المثال، يحافظ منتجنا من الدرجة 8520 على أداء العزل الحراري حتى في ظل التعرض طويل الأمد لدرجات حرارة عالية جدًا، مثل أفران LPCVD والأفران الفوقية.
• انخفاض انبعاث الغازات والانبعاثات: يقلل من الانبعاثات المتطايرة في ظل ظروف الفراغ ذات درجات الحرارة العالية، مما يمنع تلوث غرفة العملية ويحافظ على نقاء ترسب الأغشية الرقيقة ومعالجة الرقاقة.
• مقاومة فائقة للتآكل البلازمي: تقاوم بشكل فعال قصف البلازما في عمليات مثل النقش الجاف وPECVD، مما يقلل من مشاكل السطح مثل المسحوق والتتبع والتشقق من أجل عمر خدمة أطول.
• مجموعة الضغط المنخفض: تحافظ على المرونة والتعافي الممتازين حتى تحت الحرارة والضغط لفترات طويلة، مما يضمن إغلاقًا متينًا ومستقرًا.

أختام JST لا يوفر فقط المعايير القياسية أختام FFKM بل نقدم أيضًا دعمًا شاملًا، بدءًا من اختيار المواد، والتصميم الهيكلي، ومحاكاة تحليل العناصر المحدودة (FEA)، وصولًا إلى الإنتاج في غرف نظيفة من الفئة 10000. نضمن أن كل منتج يلبي المتطلبات القصوى لصناعة أشباه الموصلات من حيث الموثوقية والنظافة.