JST KALFLUO 8520 هو نوع من مواد FFKM التي تم معالجتها خصيصًا لتطبيقات عالية الأداء للغاية، مع درجة نقاء عالية ومقاومة كيميائية جيدة وخصائص ثبات الحرارة. يتم استخدامه بشكل أساسي لتطبيقات تصنيع أشباه الموصلات ، وهي مادة مانعة للتسرب مثالية لمعظم العمليات الجافة ( حفر البلازما ، PECVD، LPCVD، المعادن CVD، PVD، ALD، تنظيف البلازما) وعمليات أشباه الموصلات الرطبة (تنظيف الرقاقة، إزالة البوليمر، النقش الرطب، تلميع).

إنها مناسبة للتطبيقات في درجات حرارة تتراوح من -10 درجة مئوية إلى 300 درجة مئوية.

الخصائص الفيزيائية كالفلو 8520:

خصائص مقاومة السوائل لـ KALFLUO 8520:

الكشف عن العناصر المعدنية (الغمر بالمذيبات) كالفلو 8520:

الكشف عن ترسيب العناصر المعدنية في مياه 18M Ω UPDI عند 80 درجة مئوية لمدة 720 ساعة، أجزاء لكل مليار (ppb، ug/L) ICP-MS-MS)

نتيجة الاختبار:

ملاحظات: 1- قيمة حد الكشف: 1ppb؛ 2- ND=لم يتم الكشف عنه.