المطاط المشبع بالفلور (FFKM) عبارة عن مادة مانعة للتسرب عالية الأداء ، أدى أدائها الممتاز إلى تطبيقها في جميع أنحاء نظام التصنيع الكامل لمنتجات أشباه الموصلات. يعد ختم FFKM أحد المواد الاستهلاكية الرئيسية المطلوبة لإنتاج الدوائر المتكاملة.

خصائص الأداء الرئيسية لـ FFKM:

1) الخصائص الفيزيائية

تبلغ كثافة FFKM 1.9-2.0 جم / سم مكعب ، وخصائصه الفيزيائية والميكانيكية مماثلة لتلك الخاصة بالمطاط الفلوري ، ومقاومة مجموعة الضغط ذات درجة الحرارة العالية أعلى من تلك الخاصة بالمطاط الفلوري.

2) المقاومة الكيميائية

على غرار PTFE ، لا يتأثر FFKM بأي وسيط باستثناء بعض المذيبات عالية الفلوروكربون ، وهو مقاوم لأكثر من 1600 مذيب كيميائي مثل الأحماض القوية ، والقواعد القوية ، والمذيبات العضوية ، والبخار عالي الحرارة ، والإيثرات ، والكيتونات ، والإسترات ، والنيتروجين المركبات وكربيدات الهيدروجين والكحولات والألدهيدات والفيوران ومركبات الأمين.

3) إنها مقاومة لدرجات الحرارة العالية والمنخفضة ، ودرجة حرارة التشغيل بشكل عام 260 ~ 290 ℃. يمكن استخدامه بشكل متقطع لدرجات حرارة عالية تصل إلى 316 درجة مئوية.

4) مقاومة بخار درجات الحرارة العالية

5) انخفاض إطلاق وهطول الأمطار

6) مقاومة البلازما ، والتي تظهر نظافة عالية وخصائص ترسيب منخفضة في بيئة البلازما ، ويمكن أن تصمد أمام تأثير البلازما لفترة طويلة.

تطبيقات أشباه الموصلات من FFKM

في تصنيع أشباه الموصلات ، تعتبر موثوقية الحشيات المرنة أمرًا بالغ الأهمية ، كما أن تكلفة استبدال الحشوات عند توقف الإنتاج مرتفعة للغاية. من أجل تجنب المخاطر المحتملة ، فإن متطلبات نظافة ونقاء الأختام صارمة للغاية. في الوقت نفسه ، يجب أن تكون الأختام قادرة على العمل تحت ضغط التفريغ العالي والغازات الكيميائية المسببة للتآكل وفي بيئات درجات الحرارة العالية لفترة طويلة.

تعتبر FFKM مادة خام باهظة الثمن وغالبًا ما تستخدم للمطالبة بمتطلبات الختم التي لا تستطيع المطاط الأخرى الوفاء بها ، مثل تصنيع أشباه الموصلات. إن FFKM مقاومة لتآكل البلازما ، وتآكل الغاز ، والتآكل الحمضي والقلوي ، والتآكل في درجات الحرارة العالية ، ومتطلبات النظافة العالية للأختام المطاطية ، مما يساعد على الحفاظ على سلامة الختم ، وتقليل أوقات الصيانة ، وتحسين السلامة. إنها أفضل مادة مانعة للتسرب لتصنيع أشباه الموصلات.